微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
对于采用MEMS加速度计和陀螺仪的工业系统而言，优化带宽可能是关键考虑因素。这代表着精度(噪声)与响应时间之间的一种经典权衡。虽然多数MEMS传感器制造商都会给出典型带宽指标，往往还需要验证传感器或整个系统的实际带宽。在确定加速度计和陀螺仪...
MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法，在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试，结果发现，金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和A...
these pdf gives introduction to mems devices used in rf field
Abstract: The number of uses for microelectromechanical systems (MEMS) is growing—they allow us todo jobs once con...
航模常用的传感芯片.InvenSense公司的MPU6050芯片内部集成了三轴加速度计和三轴陀螺仪，不仅消除了我们焊接电路板时易造成的加速度计和陀螺仪之间的对准误差（alignment error），而且由于其内置了数字可编程的低通滤波器，...