微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计，实现对大气环境的露点温度检测。利用24位Σ-Δ模数转换器对温度进行测量，并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制。经过光学冷镜式露点传感器的对比测试，验证了其露点测...
· 摘要： 通过分析小波分析法中的阈值去噪算法的原理,根据MEMS陀螺仪信号漂移的数学模型,采用了基于小波阈值去噪法对MEMS陀螺仪的输出进行实时消噪处理.并将该算法应用到基于DSP的某MEMS陀螺捷联惯导系统后对系统...
选用4000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘接键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，采用该技术成功加工出具有三层结构的圆片级封装某种惯性压阻类传感器。依据标准GJB548A对其进行了剪切强度和检漏测试，测得封装样品漏率小于5×10pa·c...
· 摘要： 通过分析小波分析法中的阈值去噪算法的原理,根据MEMS陀螺仪信号漂移的数学模型,采用了基于小波阈值去噪法对MEMS陀螺仪的输出进行实时消噪处理.并将该算法应用到基于DSP的某MEMS陀螺捷联惯导系统后对系统...
·摘要： 介绍了一种新型的加速度传感器ADXL203.具体分析了该传感器的性能与工作原理,并且通过TI公司的TMS32OLF2407DSP实现了输出信号的处理和分析.设计了三轴的加速度的测量,进而确定物体运动的位移与轨迹.&nb...
·摘要： 介绍了一种新型的加速度传感器ADXL203.具体分析了该传感器的性能与工作原理,并且通过TI公司的TMS32OLF2407DSP实现了输出信号的处理和分析.设计了三轴的加速度的测量,进而确定物体运动的位移与轨迹.&nb...
MEMS1 (微机电系统)利用专为半导体集成电路所开发的制造工艺设施实现生产制造。微机电结构的实现方法是通过在半导体基片上刻蚀特定的图形，来实现传感器单元或者可以移动零点几微米的机械执行器。MEMS 压力传感器是第一类批量应用的产品，如今用...
摘要:通过对西瓜的力学和物理特性的分析,设计一套以凌阳十六位单片机为控制核心,以MEMS(微机电系统)加速度传感器为检测工具,以FFT(快速傅里叶变换)为信号分析和计算方法的西瓜成熟度快速检测装置.检测过程中,利用对西瓜的敲击产生的振动频率...