MEMS制造

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· 摘要：  传感器制造系统是传感器生产线上的核心部分,它将生命科学技术、数控技术、电子技术和计算机处理技术综合运用于整个系统中.本文建立一套基于DSP微处理芯片的传感器制造系统.硬件部分以DSP为核心,由电机驱动、按键...

2024-07-16 3 MEMS制造

高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测，在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中，特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上，随着传感器性能的不断提高，接口电路将成为限...

2013-05-23 96 MEMS制造

高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测，在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中，特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上，随着传感器性能的不断提高，接口电路将成为限...

2023-09-13 9 MEMS制造

当人体内胰岛素分泌不足或胰岛素作用缺失时会导致血糖浓度偏离正常水平从而引发糖尿病及其并发症。血糖浓度的检测是糖尿病科学诊断的前提。本文针对课题组研制的MEMS血糖传感器用于组织液超滤提取检测的功能需求，研究了三电极MEMS血糖检测传感器微电...

2022-06-18 5 MEMS制造

应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS 带阻滤波器。研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应。利用ANSOF 的HFSS 软件模拟分析了滤波器的损耗参数，并应用ANSYS 软件分析复合

2023-06-25 5 MEMS制造