MEMS制造
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《MEMS和微系统设计与制造》徐泰然 高清版
《微系统设计与制造》是2008年清华大学出版社出版的图书。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域，力争展示微系统的全貌。微系统（MEMS）是一门多...
2022-09-14
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Foundations of MEMS
Five years have passed since the first edition of this book was published.Over the five years,the world has witnessed a ...
2020-06-06
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Frequency+Tunable+MEMS
For more than three decades, Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) have steadily transitioned out of research labs and...
2020-06-06
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