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基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计

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应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS 带阻滤波器。研究了微尺
度电磁学、力学、温度等效应。利用ANSOF 的HFSS 软件模拟分析了滤波器的损耗参数,并应用ANSYS 软件分析复合

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