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本文通过使用already-on(native)元件所提出的阵列式灵敏放大器的改进结构，虽然该结构会使版图的面积增大，芯片的成本增加；但在它处于低功耗模式时，可有效的感应位线上更小的充电电流。

2024-01-24 4 超灵敏

许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜。使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度。文中提出的纹膜结构, 可在不改变工艺条件的前提下,

2024-01-25 6 超灵敏

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软

2023-10-26 4 超灵敏

介绍了压阻式传感器的灵敏度温度补偿原理,给出了一种在宽温度范围内采用了分段补偿方式进行灵敏度温度补偿的方法,实现了宽温度范围内较高的补偿准确度。这里介绍的方案是通过数- 模组合硬件电路实现分段补偿,具

2023-12-27 6 超灵敏