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介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’
Abstract: This reference design provides design ideas for a cost-effective, low-power liquid-level measurement dataacqui...
硅压阻式压力传感器 27AND37 它采用 Measurement Specialties 的专有 UltraStable™ 冲模来提供大温度范围内的出色性能和长期稳定性。 0-15 到 0-250 psi 的测量仪和压差范围可用。它使用激...
研究了SiO2 辅助电极型快速定硅传感器的性能,试验结果表明:传感器插入铁液10～20 s ,即可获得稳定的电动势,稳定电动势持续时间为30～60 s ,能够实现铁水硅含量的快速测定1 另外,对快速定
综述了1986 年以来辅助电极型硅传感器的开发研制与应用情况,包括辅助电极材料的选择及其优缺点,提出了对辅助电极材料的改进意见,认为今后开展辅助电极与被测熔体中元素(如碳) 间化学反应的基础理论研究,
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。关键词: 信息
扩散硅压力传感器及变送器参数测试系统: 采用具有自校验和信号调理功能的24 位ADC ,开发设计了一种高精度数据采集系统. 该系统能对扩散硅压阻传感器和变送器的特性参数进行高精度的检测;同时,亦