MEMS真空熔焊封装工艺研究
MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法,在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试,结果发现,金属外...
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高频变压器真空含浸真空含浸适用于高频变压器、低频变压器、电感线圈、电机、电感器、整流器、五金铸件以及C型铁芯的浸漆处理的设备,具有提高线圈的机械强度,绝缘强度及防潮、防霉、降低噪音等功能;各类金属膜电...
本设备能很快直观地进行真空的获得与A')量,且方法简单,运用分子泵能迅速地获得高真空,且对其结构与使用有所了解,加深日常生活中对真空的使用。能方便直观地对光的能量、压力进行演示与制备。...
介绍一种基于电容式微型真空度检测系统。系统利用PIC 系列单片机对真空绝热板真空进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求。...
随着我国的仪器仪表工业的蓬勃发展,体积小巧、无油环保的微型真空泵、微型气泵、微型水泵得到越来越广泛的使用。如何才能在规格繁多的微型泵中选择最适合您的产品呢?...