微机电系统（MEMS）器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域，形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用：微谐振器、微机械加速度计、微机械陀螺仪、微镜、微镊、微泵等。所以做为MEMS的重要驱动方式和结构形式，静电驱动梳齿结构MEMS器件的耦合场仿真分析以及优化设计对MEMS的开发具有很重要的意义。本课题的研究对静电驱动梳齿结构MEMS器件的设计具有较大的理论研究意义。 本文的研究工作主要包括以下几个方面： 1、采用降阶宏建模技术快速求解静电梳齿驱动器静电－结构耦合问题，降阶建模被用于表示微谐振器的静态动态特性。论文采用降阶建模方法详细分析了静电梳齿驱动器的各参数对所产生静电力以及驱动位移的关系；并对静电梳齿驱动器梳齿电容结构的静电场进行分析和模拟，深入讨论了边缘效应的影响；还对微谐振器动态特性的各个模态进行仿真分析，并计算分析了前六阶模态的频率和谐振幅值。仿真结果表明降阶建模方法能够快速、准确地实现多耦合域的求解。 2、从系统角度出发考虑了各个子系统对叉指式微机械陀螺仪特性的影响，系统详细地分析了与叉指状微机械陀螺仪性能指标－灵敏度密切相关的结构特性、电子电路、加工工艺和空气阻尼，并在此分析的基础上建立了陀螺的统一多学科优化模型并对其进行多学科优化设计。将遗传算法和差分进化算法的全局寻优与陀螺仪系统级优化相结合，证实了遗传算法和差分进化算法在MEMS系统级优化中的可行性，并比较遗传算法和差分进化算法的优化结果，差分进化算法的优化结果较大地改善了器件的性能。 3、从系统角度出发考虑了各个子系统对梳齿式微加速度计特性的影响，在对梳齿式微加速度计各个学科的设计要素进行分析的基础上，对各个子系统分别建立相对独立的优化模型，采用差分进化算法和多目标遗传算法对其进行优化设计。证实了差分进化算法和多目标遗传算法对多个子系统耦合的系统级优化的可行性，并比较了将多目标转换为单目标进行优化和采用多目标进行优化的区别和结果，优化结果使器件的性能得到了改善。
上传时间： 2013-05-15
上传用户：zhangjinzj
本书从基本的直流电源知识开始，详尽介绍了电源电路中各部分单元电路工作原理、识图方法、电路故障分析思路，最后介绍了动手装配直流电源的全过程。
上传时间： 2013-07-08
上传用户：rhl123
从基本的放大器电路知识开始，详尽介绍了数十种使用频率很高的放大器电路工作原理、识图方法、电路故障分析思路，还比较详细地介绍了胆机中的电子管放大器基础知识，最后介绍了万用表检修放大器的全过程。
上传时间： 2013-04-24
上传用户：ezgame
经典电路汇总，其中包含了365个常用的经典电路图，并且各图分析透彻。
上传时间： 2013-06-03
上传用户：doudouzdz
一些常用的运放电路及分析。国家半导体公司的应用笔记。
上传时间： 2013-05-28
上传用户：YYRR
数码相机闪光灯充电电路分析 &nbs
上传时间： 2013-07-17
上传用户：小眼睛LSL
在电子制作和设计，经常会用到不同参数的电感线圈，这些线圈的电感量不像电阻那么 容易测量，有些数字万用表虽有电感测量挡，但测量范围很有限。该电路以谐振方法测量电 感值，测量下限可达10nH，测量范围很宽，能满足正常情况下的电感量测量，电路结构简 单，工作可靠稳定，适合于爱好者制作。
上传时间： 2013-06-01
上传用户：william345
实用电路详解。从原器件到电路分析，包括了测量电路，显示电路，保护电路等等。
标签： 电路实例
上传时间： 2013-05-25
上传用户：gaojiao1999
使用光电二极管检测光电信号。由于光电信号一般比较微弱，容易受到干扰，所以需要对信号的噪声特征进行分析，并在所得出结论的基础上设计出相应噪声处理电路，以解决噪声的问题。
上传时间： 2014-11-24
上传用户：zhaoman32
二十种电路分析。
上传时间： 2013-10-13
上传用户：Yukiseop
