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对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究,该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势,是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验,解决了圆片级封装问题,在低温250 ℃和适当压力辅助下≤2.5 bar(1 bar=100 kPa)...
schematic常用快捷键 x:检查并存盘 s:存盘 [:缩小 ]:放大 F:整图居中显示 u:撤销上一次操作 Esc:清楚刚键入的命令 c:复制 m:移动...