体微机械加工

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摘要:加工表面产生的表面微观几何形状误差和表面物理力学性能的变化,对机器零件的使用性能有严重的影响。本文主要以影响加工表面粗糙度和加工表面物理力学性能变化的因素进行分析研究,目的就是为了掌握机械加工中...

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本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词:石英;微机械陀螺;各向...

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