体微机械加工

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本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清...

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本文件是为了对机械加工车间生产的公司全系列产品的机械加工件的质量状况进行有效监控,并保证所产出的加工件的检验数据的可追溯性。 ...

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