金属腐蚀手册
常用的金属腐蚀速率和工艺条件，对半导体工艺人员有帮助...
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罐式退火铜线变色的原因及改进
铜线退火后立即出现或经一段时间后出现表面变色、发黑的现象，可以认为是一种腐蚀 过程。根据金属的腐蚀理论，金属腐蚀是金属表面或界面上进行的化学或电化学多相反应，使金属转入了氧化状态。由腐蚀过程的特点看，...
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