金属腐蚀

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罐式退火铜线变色的原因及改进

铜线退火后立即出现或经一段时间后出现表面变色、发黑的现象,可以认为是一种腐蚀 过程。根据金属的腐蚀理论,金属腐蚀是金属表面或界面上进行的化学或电化学多相反应,使金属转入了氧化状态。由腐蚀过程的特点看,

金属腐蚀手册

常用的金属腐蚀速率和工艺条件,对半导体工艺人员有帮助