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本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案,并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计。测试结果表明:该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求,现场运行稳定可靠...

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本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型上艺参数,充分分析了各种技术的优缺点...

👤 d1997wayne ⬇️ 75 次下载

在团簇与激光相互作用的研究中和在团簇与加速器离子束的碰撞研究中,需要对加速器束流或者激光束进行脉冲化与时序同步,同时用于测量作用产物的探测系统如飞行时间谱仪(TOF)等要求各加速电场的控制具有一定的时序匹配。在整个实验中,需要用到符合要求的多路脉冲时序信号控制器,而且要求各脉冲序列的周期、占空比、重...

👤 ZJX5201314 ⬇️ 139 次下载
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