本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型上艺参数,充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程过程中的注意事项,全书强调实用,避免烦琐的数学分析,既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展及在各高科技锁域的应用,并列举了相关参考文献供进一步深入研究,因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生,还是对已经有一定工作经验的专业科技人员,都具有很好的参考价值。
标签: 微纳米加工技术
上传时间: 2022-07-09
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基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工,综述类文献。
上传时间: 2018-12-21
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高速加工技术及其在模具制造中的应用
上传时间: 2013-07-21
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数控加工技术
上传时间: 2013-07-16
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数控加工技术
上传时间: 2013-04-15
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专辑类-机床电器-自控相关专辑-56册-498M 数控加工技术-325页-10.6M.pdf
上传时间: 2013-04-24
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混合式步进电机SPWM微步驱动技术的研究,混合式步进电机SPWM微步驱动技术的研究。
上传时间: 2013-12-22
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深圳市微迪软件技术有限公司培训中心的课件,非常好的入门教程
标签: 软件技术
上传时间: 2016-10-03
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机床电器,自控相关专辑 56册 498M数控加工技术 325页 10.6M.pdf
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上传时间: 2014-05-05
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数控技术相关专辑数控加工技术 325页 10.6M.pdf
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上传时间: 2014-05-05
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