微纳米加工技术及其应用
本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型上艺参数,充分分析了各种技术的优缺点...
本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型上艺参数,充分分析了各种技术的优缺点...
台积电是全球最大的芯片代工厂,其日前称,它将从2010 年年初开始采用高级的28纳米技术,主要用于生产高性能技术设备中使用的芯片。在竞争非常激烈的代工市场,台积电和台联电以及其它一些小型的竞争...
本研究采用水溶液/Triton X-100/正己醇/环己烷反相微乳液体系,以硝酸铋为原料,氨水作沉淀剂,保持Triton X-100/环己烷/正己醇的体积比不变,改变所加入的水溶液体积和硝酸铋的...
图解纳米技术...
基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工,综述类文献。...