微纳米加工技术及其应用
本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清...
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基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工,综述类文献。...
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数控加工技术...
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