capacitive+MEMS
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MEMS中的封装技术研究
MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性!因此!早期MEMS的封装 大多借用半导体中现成的工艺%本文首先介绍了封装的主要形式!然后着重阐述了晶圆级封装与芯片级封装&!’%最后给出了一些商业化的实例%
2016-07-26
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《MEMS技术及其应用》教程
虽然大部分人对于MEMS（Microelectromechanical systems，微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR...
2022-09-28
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高精度MEMS时钟产品指南
高精度MEMS时钟产品指南，涵盖时钟设计、性能参数及应用方案，适用于需要稳定时间基准的嵌入式系统。提供详细技术规格与选型建议，是开发高精度时序控制模块的重要参考资料。
2026-03-12
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