RF-MEMS 技术资料

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MEMS惯性传感器作为工业应用领用新兴的应用元件,不论在商业、工业还是军工应用上都有着广阔的应用。文中给出了几种MEMS的在不同领域内的应用范例,并解析了相应的原理,并从一款较常用的MEMS入手提出了对相应领域内的解决思路。

压缩工程

高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测,在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中,特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上,随着传感器性能的不断提高,接口电路将成为限制整个系统的主要因素…

压缩工程

高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测,在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中,特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上,随着传感器性能的不断提高,接口电路将成为限制整个系统的主要因素…