微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
资料->【E】光盘论文->【E1】斯坦福博士论文->04 calgary PhD Error Analysis and Stochastic Modeling of MEMS based Inertial Sensors for Land ...
MEMS惯性传感器作为工业应用领用新兴的应用元件，不论在商业、工业还是军工应用上都有着广阔的应用。文中给出了几种MEMS的在不同领域内的应用范例，并解析了相应的原理，并从一款较常用的MEMS入手提出了对相应领域内的解决思路。
高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测，在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中，特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上，随着传感器性能的不断提高，接口电路将成为限...
高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测，在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中，特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上，随着传感器性能的不断提高，接口电路将成为限...
当人体内胰岛素分泌不足或胰岛素作用缺失时会导致血糖浓度偏离正常水平从而引发糖尿病及其并发症。血糖浓度的检测是糖尿病科学诊断的前提。本文针对课题组研制的MEMS血糖传感器用于组织液超滤提取检测的功能需求，研究了三电极MEMS血糖检测传感器微电...
应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS 带阻滤波器。研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应。利用ANSOF 的HFSS 软件模拟分析了滤波器的损耗参数，并应用ANSYS 软件分析复合
资料->【E】光盘论文->【E1】斯坦福博士论文->06 calgary PhD Performance Evaluation of Low Cost MEMS-Based IMU Integrated with GPS for Land ...
对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究，该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势，是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，在低温250 ℃和适当压力辅...