MEMS振荡器
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振梁式负压传感器
对负压力的测量可采用各种真空计或者负压传感器,但其输出量大多为非电量或模拟式电量。本文制作了一种电热激励的微悬臂梁谐振式负压传感器,它利用随微悬臂梁振动的气体分子等效于增加微梁惯性质量的原理测量气压或
2024-05-16
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MEMS中的封装技术研究
MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性!因此!早期MEMS的封装 大多借用半导体中现成的工艺%本文首先介绍了封装的主要形式!然后着重阐述了晶圆级封装与芯片级封装&!’%最后给出了一些商业化的实例%
2016-07-26
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《MEMS技术及其应用》教程
虽然大部分人对于MEMS（Microelectromechanical systems，微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR...
2022-09-28
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