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MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性!因此!早期MEMS的封装 大多借用半导体中现成的工艺%本文首先介绍了封装的主要形式!然后着重阐述了晶圆级封装与芯片级封装&!’%最后给出了一些商业化的实例%
虽然大部分人对于MEMS（Microelectromechanical systems，微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR...
高度数据的准确获取是飞控系统研制过程中极其重要的一环，是保证无人飞行器按照一定高程工作、平稳着陆的先决条件。但对于低成本惯性导航解算，位置漂移严重[]，虽可通过加速度计姿态校正来抑制部分漂移，但解算出的速度与位置仍然不准确。因此需利用除惯导...
摘要惯性制导系统初始对准的主要任务是精确确定载体坐标系和制导坐标 系之间的初始方向余弦矩阵和载体的初始速度。惯性制导的精度在很大程度上 取决于系统初始对准的精度。本文基于初始对准误差引起的惯性导航误差模 型，针时近程战术武器系统，在一...
激光陀螺捷联惯导系统是当今惯导系统发展的主要方向之一，已在海、陆、空、天获得了广泛的应用。在现有惯性仪表的基础上，通过采用速度更快、容量更大的数字信号处理芯片来改进惯性仪表信号的处理流程和方法，是目前提高惯导系统导航精度的一种有效方法。 首...