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设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰。
· 摘要： 集成电路以及DSP技术的发展,为摆式积分陀螺加速度计(PIGA)的一体化设计提供了可能;伺服回路是PIGA的重要环节,其性能直接影响PIGA的精度;传统的模拟伺服回路其电阻、电容等器件受工作环境影响,易老化...
涵盖ADIS16000 MEMS振动传感器的硬件架构与通信协议，深入解析其内置RF收发器的功能实现及应用场景。适用于嵌入式系统开发与工业监测领域。
这份博士论文深入探讨了MEMS晶振的各个方面，从设计原理到实际应用，为工程师和技术人员提供了宝贵的参考。内容涵盖了MEMS晶振的制造工艺、性能优化及测试方法，适合希望深入了解该领域的专业人士。
As a student I did my best to avoid text books – a strange statement for a Professor to make and one that I should clari...
MEMS作为21世纪的前沿高科技，在产业化道路上已经发展了20多年，今天，MEMS产品由于其具有大批量生产、低成本和高性能等特点，已经有了很大的市场，早期的封装技术大多数是借用半导体集成IC领域中现成
MEMS 在射频(RF)应用领域表现出的低功耗、低损耗和高数据率的优越特性为RF 无线通信系统及其微小型化提供新的技术手段。在产品设计的初期阶段,RFMEMS 封装的设计考虑是降低成本、提高产品合格率