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用于MEMS芯片封盖保护的金-硅键合新结构，与器件制造工艺兼容!键合温度低!有足够的键合强度，不损坏器件结构，实现了MEMS器件的芯片级封装。
研究了一种新型三维MEMS加速度计的性能特点和工作原理。针对加速度计的输出接口特点，设计了基于数字信号处理（DSP）芯片的数据采集系统，实现对加速度计信号的高速实时采集。利用多通道缓存串行口MCBSP实现SPI总线方式的数据采集...
意法半导体已售出超过140亿个微机电传感器，提供业界最全面的MEMS系列产品，包括加速度计、陀螺仪、数字罗 盘、惯性模块、MEMS麦克风和环境（包括压力、温度和湿度）传感器。独特的传感器产品组合，从分立式到集成式解决方案，满足了所有设计需...
· 摘要： 针对微型飞行器(MAV)的特点介绍了一种基于微机电系统(MEMS)传感器的微型航姿仪,它包括三轴陀螺、三轴加速度传感器、三轴磁阻传感器和数字信号处理器(DSP).详细给出了系统整体方案设计和具体的硬件选型和...
提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计，实现对大气环境的露点温度检测。利用24位Σ-Δ模数转换器对温度进行测量，并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制。经过光学冷镜式露点传感器的对比测试，验证了其露点测...
· 摘要： 通过分析小波分析法中的阈值去噪算法的原理,根据MEMS陀螺仪信号漂移的数学模型,采用了基于小波阈值去噪法对MEMS陀螺仪的输出进行实时消噪处理.并将该算法应用到基于DSP的某MEMS陀螺捷联惯导系统后对系统...
· 摘要： 通过分析小波分析法中的阈值去噪算法的原理,根据MEMS陀螺仪信号漂移的数学模型,采用了基于小波阈值去噪法对MEMS陀螺仪的输出进行实时消噪处理.并将该算法应用到基于DSP的某MEMS陀螺捷联惯导系统后对系统...