📚 HSGFET技术资料

基于In2O3膜HSGFET型功函数O3传感器的研究

本文以In2O 3 及其混合物为敏感材料, 采用悬浮栅结构和功函数方法, 研究出可在室温下工作的HSGFET型功函数O 3 传感器, 并给出传感器对O 3 响应曲线以及实验结果的理论分析等.关...