电阻式半导体气体传感器
综合介绍了电阻式半导体气体传感器的特性,重点对电阻式半导体气体传感器的工作原理、制作方法和加速传感器响应的措施进行了较为详细的阐述。综合该领域国内外研究现状,展望了电阻式半导体气体传感器的发展方向。
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