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用于半导体设备的液体到液体环境冷却系统

  • 资源大小:2280 K
  • 上传时间: 2023-01-13
  • 上传用户:lw125849842
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: ebook

资 源 简 介

冷却和温度控制系统在半导体制造设施中得到广泛使用。无论大型还是小型的生产设备,都会安装有数百 甚至数千个冷却系统,并在其中连续运转。这些系统所采用的工艺通常设置为完全复制型,这意味着工艺 系统是由工艺设备的 OEM(原始设备制造商)开发并转变而成。在半导体制造设施中使用的这些关键的生 产设备都必须要非常可靠,易于维护,并具有最小的停机时间。对于支持这些生产设备的冷却系统其要求 也是同样。通常使用的冷却系统具有一水冷蒸发器,而不是空气冷却的蒸发器。

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