用于半导体设备的液体到液体环境冷却系统 - 免费下载
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资源简介
冷却和温度控制系统在半导体制造设施中得到广泛使用。无论大型还是小型的生产设备，都会安装有数百 甚至数千个冷却系统，并在其中连续运转。这些系统所采用的工艺通常设置为完全复制型，这意味着工艺 系统是由工艺设备的 OEM（原始设备制造商）开发并转变而成。在半导体制造设施中使用的这些关键的生 产设备都必须要非常可靠，易于维护，并具有最小的停机时间。对于支持这些生产设备的冷却系统其要求 也是同样。通常使用的冷却系统具有一水冷蒸发器，而不是空气冷却的蒸发器。
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