CV加速

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一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软

2023-10-26 4 CV加速

·摘要：  详细介绍基于MEMS(Micro Electro Mechanical System)和DSP的微型惯性测量装置的软硬件设计.该装置的MEMS传感器单元由微机械陀螺和微加速度计组成,可精确测量载体的3个轴向角速度信息和...

2023-05-27 5 CV加速