BiCMOS工艺

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随着工艺技术到达深亚微米领域,互连线的耦合电容、电感对电路的影响越来越大。为 了有效地捕捉互连线的影响,需要进行精确地电路级模拟,但是从版图自动提取出来的互连 线通常是一个大的线性电路。利用spice 模拟器来模拟,通常效率比较低下。针...

2014-01-10 86 BiCMOS工艺

本文主要超薄芯片的背面金属化中的一些问题,阐述了两种主要的背面金属化工艺的建立,并解决了这两个工艺中关键问题,使得工艺获得好的成品率,提高了产品的可靠性,实现了大规模量产。流程(一)介绍了一种通过技术转移在上海先进半导体制造有限公司(ASM...

2022-06-26 7 BiCMOS工艺