静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计.rar
微机电系统（MEMS）器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域，形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用：微谐振器...
8427技术资料
📦 资源总数：1
💻 源代码：15
🔥 8427热门资料
📂 8427资料分类