镀层厚度
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查看全部 500 份 →膜厚对四面体非晶碳膜机械性能的影响
采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在p（100）单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜，并利用表面轮廓仪测试薄膜的厚度和应力，利用纳米压入仪测试薄膜的硬度、杨氏模量和临界刮擦载荷。试
2024-02-14
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基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值
· 摘要： 针对光学监控系统(OMS)实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难.本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分...
2024-11-16
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