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基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值 - 资源详细说明
· 摘要： 针对光学监控系统(OMS)实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难.本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阙值δ的极值点判定方法.最后通过DSP开发平台实现上述算法.实验结果表明AKF输出监控信号噪声被明显抑制;最终本文方案判定极值点平均膜厚监控相对误差仅为1.0
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