膜厚对四面体非晶碳膜机械性能的影响
采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在p(100)单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜,并利用表面轮廓仪测试薄膜的厚度和应力,利用纳米压入仪测试薄膜的硬度、杨氏模量和临界刮擦载荷。试...
采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在p(100)单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜,并利用表面轮廓仪测试薄膜的厚度和应力,利用纳米压入仪测试薄膜的硬度、杨氏模量和临界刮擦载荷。试...
采用过滤真空阴极直流弧源(Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition, FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜。...
人造金刚石合成设备属高温高压设备,由于压力失控、工步混乱等可能会酿成严重后果,故其单片机控制系统需要高度可靠和多重安全保护防范.本文介绍一种模仿PLC工作原理的单片机控制系统,论述其实现安全可靠的软硬件保障措施....
这是关于膜材实验的资料,希望对研究这方面的朋友有一定的利用价值....
质子交换膜燃料电池模型,基于Matlab的燃料电池模型,适用于能源领域...