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八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究
一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软
2023-10-26
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算法程序 kfour 傅里叶级数逼近 kkfft 快速傅里叶变换 kkfwt 快速沃什变换 kkspt 快速三次平滑 klman 离散随机系统的卡尔曼滤波 kkabg α-β-γ滤波
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2014-01-14
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