透传技术
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石英微机械惯性传感器的加工技术
本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词：石英；微机械陀螺；各向
2023-11-12
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电阻应变式传感器应用技术 309页 10.7M.pdf
资料->【B】电子技术->【B3】传感测量->【1】传感检测->电阻应变式传感器应用技术 309页 10.7M.pdf
2023-05-21
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