一种硅微振动角速度传感器
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’
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难得一见的ADXL362完整数据手册,详细解析其微功耗、三轴数字输出MEMS加速度计的技术特性与应用方案。适用于低功耗传感器系统设计与嵌入式开发。
难得一见的ADXL375完整数据手册,涵盖3轴数字MEMS加速度计的电气特性与寄存器配置,适合嵌入式开发与传感器应用。技术细节详实,便于快速集成到各类高精度测量系统中。
KX022 是一款强大的低功耗、I2C/SPI 输出、三轴加速度计,它拥有集成 FIFO/FILO 缓冲区和多种嵌入式功能,包括 轻击检测、设备方向、活动和唤醒算法。 Kionix 的 XAC 传感器具备卓越的稳定性,其改进的抗冲击性、回流...