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许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜。使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度。文中提出的纹膜结构, 可在不改变工艺条件的前提下,
以掺杂SnO 2 薄膜为例, 推导了薄膜上透射光的消光系数与薄膜内极化电子数和极化电子迁移率的关系式。得出当环境气氛中待测气体的浓度变化时, 将导致穿过薄膜的光的透射率与之发生响应, 从理论上说明研制
加强肋 理想的设计 为了克服壁厚大可能引起的问题，使用是一种可减少壁厚并能增加刚性的有效方法。 一般来说，部件的刚性可用以下方法增强 增加壁厚； 增大弹性模量（如加大增强纤维的含量）； 设计中考虑...
形状记忆合金(SMA) 薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能,而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力。本文主要介绍了以TiNi 基合金为主的形状记忆合金
利用有限元分析工具ANSYS/ FLOTRAN , 模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场。并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响。
一种电可擦写可读出的有机薄膜存储器件:摘 要： 报道一种具有可逆电双稳特性的有机薄膜存储器件。器件采用三明治夹层结构：Ag/DBCN/Al， DBCN 为有机分子材料的简称。
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