臭氧总量

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随着集成电路工艺的不断发展,工艺模拟软件功能也在不断的改善,本文以氧化扩散工艺为例,并在计算机上采用SUPREM-III 完成氧化扩散初始条件的编辑以及工艺模拟,并对模拟结果进行分析比较。从而对氧化、

2023-12-30 3 臭氧总量

在论述二氧化锡气敏机理的基础上,介绍了通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物等方法制备二氧化锡膜气敏传感器的研究成果以及二氧化锡传感器阵列电鼻子的研究现状,并对其发展趋势进行了展望。关键词:

2024-01-06 3 臭氧总量

随科技的发展,电子技术与辐射环境的关系愈来愈密切。大规模现场可编程集成电路FPGA在电子领域得到了日益广泛的应用,然而,这类器件是由外延CMOS工艺制造的,如果该器件工作于辐射环境恶劣情况下,则需要研究γ电离总剂量辐射对该器件的损伤情况。 ...

2023-09-24 7 臭氧总量