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SUPREM-III进行集成电路氧化—扩散工艺模拟 - 资源详细说明
随着集成电路工艺的不断发展，工艺模拟软件功能也在不断的改善，本文以氧化扩散工艺为例,并在计算机上采用SUPREM-III 完成氧化扩散初始条件的编辑以及工艺模拟，并对模拟结果进行分析比较。从而对氧化、
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