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摘要:为解决采用原子力显微镜(AFM)系统进行纳米机械性能测试中存在的不能够直接获得载荷?压深曲线以及不能够随意改变加载、保载、卸载时间等问题,对AFM系统进行了改造,开发了一套基于单片机的信号输入输出模块。将该模块与AFM控制系统相联,形成新的纳米机械性能测试系统。该系统信号输出精度为0.15mV...

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利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X 2Y 两自由度精密定位工作台, 并利用有限元分析法对机构进行了优化设计, 采用电阻应变片作为微位移检测传感器, 在此基础上设计了闭环控制器, 该控制器包括压电陶...

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