磁控溅射
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电磁散射的计算和测量
本书介绍电磁散射的基础理论和技术，包括电磁散射的计算和测量两部分。在计算部分，系统地讲述了当前应用比较广泛的几种计算电磁学方法，如矩量法、有限元法、时域有限差分法、快速多级子算法和有限积分技术。在测量部分，重点讲述测量的基本概念和技术，如近...
2022-09-07
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CYBJ-971型溅射金属薄膜压力传感器及其在自容式下井系统中的应用
华中科技大学光电子工程系微制造实验室（华光科技研究所）研制生产的CYBJ-971 型溅射金属薄膜压力传感器，由于采用了当今较为先进的金属薄膜溅射、内部标定和温度补偿等技术，使其具有测量范围大、高
2024-01-22
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