硅惯性

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·摘要：  对于捷联惯性制导系统,由于没有稳定平台,需要进行大量的数学运算来实现数学平台,所以制导对计算装置的性能要求就很高.由于DSP芯片特别适合于需要大量实时计算的应用,因此本文介绍了一种用DSP芯片设计的捷联惯性制导系统.整...

2024-07-01 8 硅惯性

用微波光电导衰减仪(μ2PCD) 研究了不同温度和时间的恒温和变温磷吸杂处理对铸造多晶硅片电学性能的影响。实验发现: 变温吸杂明显优于恒温吸杂,特别是对原生高质量多晶硅; 其优化的变温磷吸杂工艺为10

2024-04-01 7 硅惯性

本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词：石英；微机械陀螺；各向

2023-11-12 3 硅惯性