硅谐振微传感器中微现象测量技术
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。关键词: 信息
硅微谐振器技术资料下载专区,收录500份相关技术文档、开发源码、电路图纸等优质工程师资源,全部免费下载。
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。关键词: 信息
在微波领域中,具有储能和选频特性的元件称为微波谐振器,它相当于低频电路中的LC振荡回路,它是一种用途广泛的微波元件。 低频LC振荡回路是一个集中参数系统,随着频率的升高,LC回路出现一系列缺点,主要是,①损耗增加。这是因为导体损耗、介质...
·摘要: 介绍了硅微谐振器系统的工作原理,重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现.详细分析了AD9954作为智能精密驱动源的粗细搜索两种阶段工作流程并给出与DSP器件的数字接口技术.结合实验数据和...
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’