静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计.rar
微机电系统(MEMS)器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域,形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动...
微机电系统(MEMS)器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域,形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动...
· 摘要: ADI公司的角速度传感器ADXRS401具有优良的特性.本文介绍了ADXRS401的工作原理,设计并实现了一个三维陀螺仪;同时给出了该系统硬件和软件的设计方案和具体实...
本文设计一种基于表面微机械 MEMS加工工艺的微型传感器,具有体积小,灵敏度高,稳定性强等优点。 ...
MSP40-V1.2-CHS[1]微硅压力传感器。...
永嘉微电科技优势产品——高抗干扰LCD驱动IC系列(HT16C21、HT16C22、HT16C23、HT16C24) 产品型号:HT16C21 &n...
随着我国经济的高速发展,各类建设工程越来越多,这导致了国家对工程机械的需求越来越大,要求也越来越高。在机械和液压技术已发展成熟的今天,信息化和智能化成了工程机械进行产品性能提升的新的突破口。而无线遥控...
石英具有非凡的机械和压电特性, 使得从19 世纪40 年代中期以来一直作为基本的时钟器件. 尽管在陶瓷, 硅晶和RLC电路方面有60 多年的研究, 在此之前没有哪种材料或技术能替代石英振荡器, 鉴于其...
微控制器( MCU) 破解秘笈之中文有删节版 前言2/71 摘要5/71 除外责任5/71 第一章 简介 6/71 第二章 背景知识 7/71 2.1 硅芯片安全措施的演变 7/71 2....
硅光设计书籍,包括微环谐振器,MZI,布拉格光栅,包括原理,仿真和优化过程的详细说明。...
随着科学水平的提高,生物、化学以及医疗相关器械领域对精度要求也在不断地提升.生物制剂提取、注射,化学药品传输供给以及药物治疗等MEMS的研究不单单是对精密仪器的攻坚克难,更是交叉学科赋予高精密仪器研究...