硅微机械
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六轴机械手 最新更新 -2020-03-03 16:51 机器人13个 -2020-03-03 16:51 C37套.rar 442.8M2020-03-03 16:51 B50套.rar 505.6M2020-03-03 16:51 A5...
2021-03-03
石英微机械惯性传感器的加工技术
本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词：石英；微机械陀螺；各向
2023-11-12
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一种硅微振动角速度传感器
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’
2024-04-04
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