硅微加工
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查看全部 500 份 →石英微机械惯性传感器的加工技术
本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词：石英；微机械陀螺；各向
2023-11-12
3
超大规模集成电路微细加工技术.rar
资料->【C】嵌入系统->【C2】IC设计与FPGA->【1】IC设计与封装测试（CMOS、半导体、集成电路）->超大规模集成电路微细加工技术.rar
2024-12-01
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微波工程
5’ummary-A circularly symmetric power divider is described which splits a signal into n equiphase equismplitude parts w...
2025-04-12
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