硅微加工

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随着波导材料的研究和进展,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述。关键词:光波导压力传感器; 硅微机械法;

2024-04-10 3 硅微加工

项目的研究内容是对硅微谐振式加速度计的数据采集电路开展研究工作。硅微谐振式加速度计敏感结构输出的是两路差分的频率信号，因此硅微谐振式加速度计数据采集电路完成的主要任务是测出两路频率信号的差值。测量要求是：实现10ms内对中心谐振频率为20k...

2013-08-11 149 硅微加工

研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之

2024-04-15 1 硅微加工

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软

2023-10-26 4 硅微加工

低成本传感器的应用是小型飞行器迅速发展的现实要求，将MEMS传感器技术结合飞行器应用是一个全新的前沿发展方向；对电容式硅微加速度计在小型飞行器上的应用进行了研究，提出此类加速度计存在输出不完全的问题，

2024-01-19 9 硅微加工