硅微加工
硅微加工技术资料下载专区，收录500份相关技术文档、开发源码、电路图纸等优质工程师资源，全部免费下载。
资源总数
500
硅微加工 热门资料
查看全部 500 份 →一种硅微振动角速度传感器
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’
2024-04-04
1
用单片机控制的微孔加工技术
介绍了一种用单片机控制的小型机床,其可以实现微孔加工的自适应控制.测量系统装在专用的数控微孔精密机床上,机床夹具与工作台之间的测扭、测力压电传感器,同时测量轴向力与扭矩的变化值,根据所测扭矩、轴向力大小调整加工的进给量,控制钻头轴向进退及排...
2024-11-12
7
基于硅结构的微流体控制系统
基于硅结构的微流体控制系统(μFCs) 是微机电系统(MEMS) 中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国
2024-04-02
2