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压导管机床专用力传感器开发与研制
根据汽车发动机压导管专机开发研制的工作要求，从机床设计具体结构考虑，需要设计专用圆柱式电阻应变力传感器为机床的控制系统提供压力数据信号。圆柱式电阻应变力传感器的设计重点在于弹性元件的设计。本文对弹性元...
硅压阻式传感器
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辅助电极型硅传感器的研究进展
综述了1986 年以来辅助电极型硅传感器的开发研制与应用情况,包括辅助电极材料的选择及其优缺点,提出了对辅助电极材料的改进意见,认为今后开展辅助电极与被测熔体中元素(如碳) 间化学反应的基础理论研究,...
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硅谐振微传感器中微现象测量技术
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。关键词: 信息...
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一种硅微振动角速度传感器
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’...