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温压传感器调理芯片HS104手册
HS104是一款集成温度和压力检测的信号调理和变送输出的专用芯片。芯片内置独立的低温漂带隙基准源，可向传感器提供恒定的电流，通过片内放大器和滤波器，将传感器的电阻变化转换成电流信号输出。...
硅压阻式传感器
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基于硅隔离技术的耐高温压力传感器研究
采用硅隔离So I (Silicon on Insulator) 技术,应用高能氧离子的注入方法,在单晶硅材料中形成埋层二氧化硅,用以隔离作为测量电路的顶部硅层与体硅之间因温度升高而造成的漏电...
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硅微机械加工光波导压力传感器的设计
随着波导材料的研究和进展,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述。关键词:光波导压力传感器; 硅微机械法;...
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